威彩彩票公布FPD曝光设置装备摆设“MPAsp-H1003T” ——完成2.0μm剖析度对65英寸液晶面板的一次曝光

日期:2018-10-11

       威彩彩票将于2018年10月下旬起正式出售FPD(Flat Panel Display)曝光设置装备摆设新品,型号为“MPAsp-H1003T”。该产物针对第8代玻璃基板尺寸※1研发,完成了运用2.0μm(L/S※2)的剖析度对65英寸液晶面板举行一次曝光的技能。

MPAsp-H1003T


       随着平板电视的遍及,以后的电视市场需求偏向,将向以65英寸为主的大尺寸、搭载4K和8K技能的高精致化、以及以无机EL面板为代表的得到Ultra HD Premium※3认证的高品格电视偏向生长。新产物针对在电视机等液晶平板制造业中被遍及利用的第8代玻璃基板所设计,使高品格65英寸液晶面板的可以或许完成量产。


完成运用2.0μm剖析度对65英寸液晶面板的一次曝光

       威彩彩票的FPD曝光设置装备摆设接纳了搭载“Mirror Projection”一次曝光技能的镜面光学体系,经过大范畴曝光,完成了大型液晶面板的量产。经过新开辟的镜面光学体系与奇特的加工技能,新产物连结了与原机型“MPAsp-H803T”(2013年6月出售)雷同的2.0μm(L/S)的剖析度,并将一次曝光的范畴从最大58英寸进一步提拔到了65英寸。因而,相比于旧机型,新产物对65英寸液晶面板的曝光单元工夫收缩了约37%※4。


套刻精度的提拔

       随着加工工艺的高精致化,套刻精度也变得愈减轻要。影响套刻精度的最大要素便是加工工艺中的非线性身分(即形酿成分),经过倍率补正技能对非线性身分的有用应对,并与多点同时校正体系共同,新机型的套刻精度相比以往机型进步了10%。


双曝光芒结构进一步提拔MMG消费服从

       经过对一台的涂布显影设置装备摆设※5毗连两台的FPD曝光设置装备摆设的双曝光芒结构,提拔了可在玻璃基板上设置装备摆设差别尺寸液晶面板的MMG※6技能的消费服从。新产物还可以与旧机型“MPAsp-H803T”共同,能使其在不影响现有第8代消费线产能的条件下完成搭配量产。

※1 2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板重要运用在电视机的液晶面板制造上。
※2 Line and Space的略写。
※3 为订定Ultra High Definition平台的同一尺度,设立了UHD同盟。Ultra HD Premium认证付与满意该同盟订定的全部尺度的表现设置装备摆设。
※4 在第8代玻璃基板上,曝光三片65英寸面板的单元工夫比力。
※5  曝光前将光刻胶涂在玻璃基板的外貌上,曝光后再将其浸没于显影液中往复除多余光刻胶的设置装备摆设。
※6  Multi Module on Glass的略写。在一张玻璃基板上设置装备摆设差别尺寸液晶面板的技能。可进步玻璃基板的利用服从。

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